鑒于太赫茲信號的高穿透性和非電離特性，其在生物醫(yī)學(xué)成像，生物傳感，無損檢測等領(lǐng)域具備廣闊的應(yīng)用前景，如早期癌癥組織的識別和觀測，特定化學(xué)成分的鑒定，復(fù)合材料中微裂紋和空氣泡的檢測，已有眾多學(xué)者和企業(yè)投身于相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)工作中。但是太赫茲成像系統(tǒng)長期以來受制于傳統(tǒng)介質(zhì)透鏡的強色差，強球差和低分辨率等問題，導(dǎo)致成像質(zhì)量與實際應(yīng)用需求之間仍有較大差距。尤其是對于0.3 THz以上的成像系統(tǒng)，急需研發(fā)出超分辨率成像系統(tǒng)的解決方案。

基于上述需求，香港城市大學(xué)太赫茲與毫米波國家重點實驗室成功研制了超寬帶無色差超分辨廣角太赫茲成像透鏡，并在生物成像和無損檢測方面做出了應(yīng)用示范。相關(guān)成果以“3D-printed aberration-free terahertz metalens for ultra-broadband achromatic super-resolution wide-angle imaging with high numerical aperture"發(fā)表在《Nature Communications》。該研究創(chuàng)造性地提出并設(shè)計了徑向梯度周期性超材料，以實現(xiàn)超高工作帶寬下的超分辨率成像，并同時消除色差與彗差。

該太赫茲超透鏡是由復(fù)雜且精密的徑向梯度周期性超材料結(jié)構(gòu)構(gòu)成，該結(jié)構(gòu)是通過摩方精密microArch^® S230 (精度:2 μm) 高精密3D 打印系統(tǒng)制備完成。

圖1. 3D打印的超寬帶超分辨無色差廣角太赫茲成像透鏡。

在太赫茲超透鏡的基礎(chǔ)上，將二個太赫茲超透鏡沿著焦點對稱放置，構(gòu)造全新的太赫茲超分辨成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)可在單個太赫茲超透鏡聚焦精度的基礎(chǔ)上可將分辨率提升1.5倍，進(jìn)一步增強了該系統(tǒng)對亞毫米組織細(xì)節(jié)的分辨能力。圖1中展示了該太赫茲超透鏡的消色差、消彗差特性，并對其在無損檢測和生物成像中的應(yīng)用做了藝術(shù)展示。

圖2. 3D打印太赫茲超透鏡無色差無彗差超分辨聚焦特性的實驗驗證。

為測量0.2THz~0.9THz范圍內(nèi)的電場分布，研究團隊采用Anritsu MG3697C信號發(fā)生器產(chǎn)生射頻輸入信號，依次送入信號發(fā)生器擴展器（SGX）模塊VDI WR5.1、3.4、2.2、9.0、1.0，通過相應(yīng)的喇叭產(chǎn)生覆蓋0.2~0.9 THz范圍的線性極化THz信號。由一個VDI WR9.0 SGX和兩個乘法器（WR4.3×2和WR1.5×3）組成的乘法器鏈產(chǎn)生0.5~0.75 THz范圍內(nèi)的信號。相關(guān)接收組件依次為信號分析儀擴展器（SAX）模塊VDI WR5.1、3.4、2.2、1.5、1.0，方便通過相應(yīng)的探頭檢測THz信號。這些接收組件被固定在一個二維電動平臺上，由計算機控制的步進(jìn)電機移動，步進(jìn)電機的移動步長為 0.1 mm。通過使用信號分析儀 KEYSIGHT N9030A 處理和記錄接收到的 THz 信號，可以獲得二維電場分布。對于離軸聚焦的測量，SGX 模塊 VDI WR9.0 和兩個倍增器（WR4.3×2 和 WR1.5×3）被安裝在轉(zhuǎn)盤上，精確地定位在所制作的超透鏡的中心。這種布置便于調(diào)整 SGX 模塊產(chǎn)生的 THz 波的入射角，范圍從 0° 到 90°。因此，可以通過該裝置測量離軸聚焦。

圖3. 3D打印太赫茲超透鏡超分辨成像的實驗驗證。

圖 3a 中展示的成像系統(tǒng)原理如下：從對角喇叭天發(fā)射 y 極化 THz 波，入射到超透鏡 1（M1）上，以在樣品上形成焦點。隨后，超透鏡 2（M2）負(fù)責(zé)準(zhǔn)直 M1 產(chǎn)生的聚焦光束。最終，THz 信號由接收（Rx）喇叭天線收集，如圖 3a 所示。與單超透鏡配置相比，這種雙超透鏡設(shè)置可顯著提高成像分辨率。工作頻率設(shè)置為 0.7 THz，以在 FWHM 和效率之間取得微妙的平衡。成像樣品位于 M1 和 M2 的共焦平面上，并安裝在計算機控制的電動臺上，以便于 2D光柵掃描。隨后對收集到的 2D 功率數(shù)據(jù)進(jìn)行后處理以生成成像場景映射。在評估成像性能之前，必須進(jìn)行校準(zhǔn)程序，該程序需要在沒有超透鏡和安裝樣品的情況下評估總損耗。該評估包括路徑損耗（從 Tx 到 Rx）和 VDI 設(shè)備引入的轉(zhuǎn)換損耗 。該校準(zhǔn)程序用于對樣品的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行反卷積，從而抵消測量不準(zhǔn)確性并增強成像對比度。

為了展示廣角成像性能，該系統(tǒng)在 xz 平面上采用了一個 360° 旋轉(zhuǎn)臺，對稱安裝的 Tx 和 Rx 可實現(xiàn)任意角度 (θ) 入射，確保離軸成像的靈活性。超透鏡精確定位在中央，以確保任意入射角的全面照明和準(zhǔn)直。此外，兩個透鏡 (dx 和 dz) 之間的位移根據(jù)圖 2e 中評估的焦距偏移進(jìn)行精心調(diào)整，保證相應(yīng)入射角的最佳聚焦。

在成像實驗中，分別對隱藏在介質(zhì)板下的精密電路結(jié)構(gòu)、帶缺陷的光柵結(jié)構(gòu)以及新鮮樹葉進(jìn)行了超分辨成像?？删_識別出光柵結(jié)構(gòu)中0.1 mm量級的缺陷，電路中間距為0.2 mm的微帶線路，介質(zhì)板內(nèi)部的紡織狀條紋，樹葉中的組織紋理。

圖4. 入射角度為 θ = 15°、30°、45°的成像性能比較。

總結(jié)：在本項研究中研發(fā)的超寬帶無色差超分辨廣角太赫茲成像透鏡，在0.2到0.9THz的超寬帶范圍內(nèi)，實現(xiàn)了數(shù)值孔徑0.555的無色差超分辨聚焦，90度的大視場角，并能對間距0.2mm的目標(biāo)實現(xiàn)高分辨的識別。該項成果極大的推進(jìn)了太赫茲成像技術(shù)的發(fā)展，突破了消色差透鏡系統(tǒng)復(fù)雜，分辨率低，大數(shù)值孔徑與大工作帶寬不可兼容，消色差與消彗差不可兼容等技術(shù)難題。為新一代緊湊可集成的太赫茲成像系統(tǒng)的研發(fā)提供了全新的技術(shù)路徑。